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冷凝泵急速再生步骤

    冷凝泵的再生是使泵内储存的气体解析和脱附的过程,为了更好控制冷凝泵工作效能,其急速再生的方法需要用户掌握。
    1.关闭高阀, 将加热N2或室温N2气由Purge Gas口导入泵腔, 被稀释的毒性气体就会通过排气阀放出。这时, 冷板的温度若达不到77K以上, 泵室的压力就上不去, 气体也就无法释放出来, 而又会被凝缩在冷头上。用N2进行冲洗时, 最好采用专用的放气管道来排出N2气。不得已要从安全阀释放时, 由于易产生真空泄露, 所以, 有必要对安全阀进行清洗。
    2.用加热毯进行加热。但要注意加热时, 温度不能超过70℃。否则, 会损坏冷凝泵。
 

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点击次数:  更新时间:2015-07-10 11:05:55  【打印此页】  【关闭